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CVD/Diffusion: AMAT, LAM, TEL
Etch : LAM(46%), TEL(29%), AMAT(16%)
Photo Scanner : ASML
Photo Spinner : TEL
Cleaning : Screen(39%), TEL(24%), SEMES(21%)
CMP : AMAT(68%)
ION Implant : AMAT
ALD : ASM
Inspection : KLA
Tester : Advantest
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