HW INTERLOCK의 개요. 반도체 장비의 하드웨어 인터락은 장비 내부에서 여러 시스템 또는 부품 간의 통신을 제어하고 조절하는 기술을 말합니다. 이를 통해 장비의 안전성을 높이고 오작동을 방지하며, 생산 과정에서 발생할 수 있는 위험을 줄일 수 있습니다. 하드웨어 인터락은 반도체 제조 공정 중의 여러 단계에서 사용되며, 기계적인 요소뿐만 아니라 소프트웨어 측면에서도 구현될 수 있습니다. 이렇게 구성된 인터락 시스템은 반도체 제조의 안전성과 정확성을 보장하는 중요한 역할을 수행합니다. HW INTERLOCK의 관련 규격 반도체 장비의 하드웨어 인터락에 대한 관련 규격은 다양한 산업 표준과 규제에 따라 다를 수 있습니다. 일반적으로 반도체 산업에서는 SEMI(세미콘덕터 장비 및 재료 산업 협회)라는 국..